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中国首个半导体薄膜设备生产基地年底投入使用

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    由沈阳拓荆科技有限公司投资3亿元建设的中国首个半导体薄膜设备生产,将于年底正式投入使用。届时将具备承担国际一流半导体薄膜设备的研发、生产和调试能力,预计每年将有100到300台设备进入国内外最先进的芯片制造生产线上,年产值达30多亿元。

    拓荆公司自主研发的PECVD设备,俗称半导体薄膜设备,是芯片制造生产线上最重要的四种设备之一,在芯片制造环节中起着关键性作用。一条投资70亿美元的芯片制造生产线,需要5亿美金左右来采购100多台PECVD。过去,这种PECVD设备的核心技术长期被美日等少数发达国家垄断,设备进口受到严格限制,且价格居高不下。目前,拓荆公司PECVD设备已达到国际同类产品水平,且具备20台套/年生产能力。()